涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。详细很多朋友对涡轮分子泵应该有些了解，上海九游AG国际的小编为大家讲解涡轮分子泵的安全使用方法。

　　德国涡轮分子泵是1956年德国人W.Becker发明的一种高速旋转的机械真空泵。它也是一种大抽速可获得*高真空的新型分子泵。在各个应用领域中得到了广泛的应用和普及。1985年以来出现了一种工作压力范围更宽的大流量的复合式涡轮分子泵，它可代替扩散泵+罗茨泵或涡轮分子泵+罗茨泵。扩大了涡轮分子泵的使用范围。在半导体制造设备上用以获得清洁的高真空。人们对涡轮分子泵的改进倍受重视。不断出现新型的组合式分子泵。如可直排大气到高真空的组合泵应用更方便了、占地面积也少了。

　　涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向*非接触式的空气轴承和磁轴承方向发展。转子的抽气单元有涡轮叶片、盘式叶片和牵引式螺旋槽结构。而且动、静叶片间的间隙很小，叶片很长刚性差。由于操作错误，突暴大气到泵中，使叶片损坏，因为受大气负载和离心力的作用开始弯曲振动，*过动、静叶片的间隙将会发生叶片相碰损坏事故。因而，高速旋转的转子系统遭到破坏时有发生，所以关于涡轮分子泵的安全使用问题，曾引起过涡轮分子泵的设计者和操作者的重视和研究，以使涡轮分子泵顺利推广应用与安全运行。

涡轮分子泵的故障分析:涡轮分子泵的故障是由于机械真空泵的轴承系统，驱动系统以及外因等出现问题时而引起的。下面仅介绍引起转子叶片和转子圆筒的破坏的一些情况。

涡轮分子泵损坏的原因:涡轮分子泵损坏的原因可分为设计上的和使用上的两方面的原因造成的。

设计上的安全措施:在转子设计时，要进行回转体整体的应力分析，通过有限单元法计算和电测应力法加以验证，也有用电镜进行组织结构观察。要避免应力集中，气体负荷的安全率要合理设定。高速回转体要做精密的动平衡，动平衡取重时要避免裂纹产生，以防腐蚀，疲劳破坏。有时要作*转数试验以考核零件强度。

涡轮分子泵使用上的安全对策：

由于涡轮分子泵使用方便，前泵采用干式运行的隔膜泵，使整套CDK设备免维护，干式运行，体积小，重量轻。 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵，不需要附加装置和人为控制，前泵与分子泵的配合*自动化。 配有给容器充气的充气开关。  当达到一定的真空压力后，可选择自动关闭前泵，以节省电源，增加设备的使用寿命。 采用自动空气冷却。 结构特别紧凑，性能可靠，操作特别简单，只用一个总开关便可开关涡轮分子泵组。因此得到广泛的应用和普及。但是，高速的回转体，万一遭到损坏或发生能量转换对结构的破坏是难以估量的。所以使用者对此必须要有高度的重视。日本曾提出涡轮分子泵安全使用准则及释放转矩测试方法的建议以引起用户注意。真空泵的用途很广，使用的条件也多种多样。如使用的工作压力，被抽气体的种类和性质不同时，所要考虑的对策也就不同了。如异物的混入，吸气口处安装有保护的金属网，网孔的大小直接影响泵的抽气效率。因此，对各种对策要综合来考虑其效果。

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